一种具有除尘功能的手持式激光清洗机装置,包括激光清洗机头,手持激光清洗机咨询,激光清洗机头一端设置有连接块,连接块上设置有滑动部,滑动部上开设有螺纹孔,滑动部上连接有支架板,支架板上开设有矩形凹槽,矩形凹槽内均匀开设有若干矩形通孔,矩形通孔与螺纹孔通过螺栓相配合,支架板另一端开设有矩形沉头孔,矩形沉头孔上设置有吸尘部,吸尘部包括上壳体与下壳体,下壳体一端设置有滚轮,下壳体另一端开设有弧形开口,位于弧形开口一侧的上壳体上开设有第二弧形开口,优点是:这种具有除尘功能的手持式激光清洗机装置在激光清洗机工作时,吸尘部可以吸走烟雾与金属灰尘,减少对工人身体的危害。
用于湿法有机清洗工艺固定晶圆的装置及清洗方法,保证半导体激光器芯片在清洗环节中不受损伤的前提下,提高清洁效果.该装置包括:用于吸附晶圆的载台,与载台背面密封固定的后盖以及与后盖固定的手柄,载台正面设置有若干吸附孔,后盖与载台闭合形成与所述若干吸附孔连通的腔室;手柄内具有中空管路,中空管路一端连通所述腔室,另一端通过软管接真空泵;使用时,手持激光清洗机报价,操作者一只手持该装置的手柄,手持激光清洗机厂家,在不锈钢的带有废液回收的保护罩中,另一只手持喷对晶圆表面进行喷淋,既保证了湿法有机清洗工艺的有效性,又降低了使用喷清洗的碎片率,提高了产品的良品率及生产的效率
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